肺纤维化引起缺氧时，通常需要予以适当的氧疗，必要时予以呼吸支持的治疗。
肺纤维化患者随着病情的进展，可以发生肺限制性通气功能障碍，同时常有肺弥散功能减退。故常伴有不同程度的低氧血症，针对此类患者多需要予以氧疗特别是家庭氧疗，对于缺氧明显的患者多需要予以适当的高浓度吸氧，必要时还可以面罩吸氧。当然，此时也要加强肺纤维化的治疗，例如口服抗肺纤维化的药物，适当予以解痉、平喘、祛痰的药物。
对于部分严重患者出现Ⅰ型呼吸衰竭时，还可予以无创呼吸机辅助呼吸。如果患者病情进一步发展，因严重呼吸衰竭导致患者有精神神志的异常改变或血氧饱和度难以稳定，此时还需要有创呼吸机维持呼吸治疗。肺纤维化患者预后不良，患者需要加强相关的氧疗。